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三参传感器是通过一根透明的PU管连起来的，最后连接到一个储液罐上面，相比于管线的容量，储液罐拥有足够大的容量，能够有效减少管线容量由于温度变化导致的细微变化所带来的影响。现场一般选择基岩等稳定点位安装基准点传感器，基于测点传感器与基准点传感器的压差计算高程差通过测量各个测点的高程差变化量可以监测不均匀沉降。

三参传感器利用重力加速度矢量在传感器坐标系各轴上的分量变化来计算倾斜角度。传感器静止时，唯一感知到的加速度就是重力加速度，如果传感器相对于水平面（垂直于重力方向）发生倾斜，那么重力矢量 g 就会在传感器的 X、Y、Z三个相互垂直的敏感轴上产生不同的分量，这些分量的大小与传感器各轴相对于重力方向的夹角直接相关，通过三角函数关系便可计算出倾斜角度。内置温度传感器和高精度的温度补偿算法，可以显著降低温度变化对测量结果的影响。